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在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO).对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能.随着溅射压强的增加,薄膜的结晶性先变好后变差,晶粒尺寸先增大后减小,在1.0 Pa时薄膜的结晶性最好,且晶粒尺寸最大,约为32 nm;所有WZO薄膜样品的平均透光率超过80%;光致发光主要由本征发光和缺陷引起的蓝光发光组成,在1.0Pa时薄膜还有明显的Zn;缺陷,在1.2Pa时薄膜有明显的Oi缺陷.
郭胜利;胡跃辉;胡克艳;陈义川;范建彬;徐承章;童帆
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数理科学
溅射压强ZnO薄膜W掺杂光致发光
sputtering pressureZnO thin filmW-dopedphotoluminescence
《人工晶体学报》 2016 (4)
双结非晶/微晶硅叠层太阳电池结构性缺陷问题的基础研究
1126-1130,5
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