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脉冲激光沉积 ZnO 薄膜的微结构及发光性能OA北大核心CSCDCSTPCD
Surface Morphology and Photoluminescence Properties of ZnO Films Deposited with PLD
用波长为1 064 nm的Nd-YAG激光器,在氧的活性气氛中,通过激光烧蚀Zn靶在Si(111)衬底上获得ZnO薄膜.用电子显微镜(XRD和FESEM)表征ZnO薄膜的结构和表面形貌,用光致发光谱表征光学性质.实验中观察到紫外光发射和深能级的黄绿光发射.紫外光发射是ZnO薄膜的固有性质,深能级光发射是由于存在氧反位缺陷(OZn).紫外光发射和深能级光发射的强度依赖于薄膜的表面粗糙度.表面粗糙度在nm级范围内的ZnO薄膜可以获得高强度的紫外光.
李建华;勾治践;范希梅
长春工业大学机电工程学院,吉林,长春,130012长春工业大学机电工程学院,吉林,长春,130012西南交通大学材料科学与工程学院,四川,成都,610031
数理科学
氧化锌(ZnO)薄膜脉冲激光沉积紫外光致发光X 射线衍射
《西南交通大学学报》 2006 (6)
709-712,4
国家重点基础研究司发展规划资助项目(2004CB619301)
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