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热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光和室温紫外激光发射OA北大核心CSCDCSTPCD

Investigation on Nanocrystalline ZnO Thin Films Prepared by Thermal Oxidation of ZnS Thin Films

中文摘要

利用低压-金属有机汽相外延(LP-MOCVD) 工艺首先在二氧化硅衬底上生长硫化锌(ZnS)薄膜,然后,将硫化锌薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化,制备出高质量的纳米氧化锌(ZnO)薄膜.X射线衍射(XRD)结果表明,氧化锌具有六角纤锌矿晶体结构.900℃氧化样品的光致发光(PL)谱中,在波长为3.3eV处观察到一束强紫外光致发光和相当弱的深能级发射.紫外发光强度与深能级发射强度之比是80,表明纳米ZnO薄膜的高质量结晶.在受激发射实验中观察到紫外激光发射.

张喜田;刘益春;支壮志;张吉英;申德振;许武;钟国柱;范希武

哈尔滨师范大学物理系,哈尔滨,150080中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态实验室,长春,130021中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态实验室,长春,130021中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态实验室,长春,130021中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态实验室,长春,130021中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态实验室,长春,130021中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态实验室,长春,130021中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态实验室,长春,130021

电子信息工程

纳米热氧化ZnO薄膜光致发光光泵浦激光发射自由激子

《半导体学报》 2003 (1)

半导体光子集成基础研究

44-48,5

中国科学院百人计划项目、国家自然科学基金(批准号:69896260)、长春光学精密机械与物理研究所创新基金、国家教委杰出青年教师基金、吉林省杰出青年学者计划和黑龙江省自然科学基金资助项目

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https://opaj.napstic.cn/periodicalArticle/downloadReview/0120100316500250

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