基于气相TMAH的硅刻蚀系统

成果类型：专利

作者：丑修建;徐方良;何剑;穆继亮;耿文平;侯晓娟;薛晨阳;胡磊;高翔;石树正

学科分类： 化学化工

相关项目：硅基反铁电材料相变应变致动高频、高Q薄膜体波谐振器基础研究