等离子体射流沉积薄膜装置及浅化表面陷阱能级的方法

成果类型：专利

作者：邵涛;马翊洋;章程;孔飞;高远

学科分类： 数理科学

相关项目：基于常压纳秒脉冲放电表面处理抑制绝缘材料界面电荷的研究